影響三坐標測量機測量精度的因素眾多，且這些因素往往相互關聯(lián)，共同作用于測量結果。以下是一些主要因素及其對應的校準方法：

　　影響因素

　　溫度：三坐標測量機的長度基準光柵是按照特定溫度（如20℃）進行修正及裝配調試的，當環(huán)境溫度偏離此標準時，會對測量精度造成顯著影響。

　　濕度：濕度過小可能導致靜電荷增長，吸引塵粒，影響測量精度；濕度過大則可能使測量機的導軌和部件銹蝕，縮短設備壽命。

　　壓縮空氣：氣壓不穩(wěn)定或含有塵粒的壓縮空氣會損害空氣軸承和空氣彈簧隔振器的性能，進而影響測量精度。

　　導軌：導軌上的附著物會干擾測量機的運動，導致測量誤差。

　　測頭校驗：測頭的校驗準確性和合規(guī)性直接影響測量結果的可靠性。

　　測量方法：不同的測量方法可能導致不同的測量誤差，因此選擇合適的測量方法至關重要。

　　校準方法

　　溫度補償：在測量過程中，根據(jù)溫度變化對測量結果進行修正，以消除溫度對測量精度的影響。

　　濕度控制：將工作環(huán)境濕度控制在適宜范圍內（如65%±5%），以減少濕度對測量精度的影響。

　　壓縮空氣維護：定期維護過濾器和隔離器，消除壓縮空氣中的塵粒，確保氣壓穩(wěn)定。

　　導軌清潔：定期擦拭導軌，去除附著物，保持導軌清潔。

　　測頭校驗：定期對測頭進行校驗，確保校驗的準確性和合規(guī)性。

　　優(yōu)化測量方法：根據(jù)測量對象和目的選擇合適的測量方法，以減少測量誤差。

　　綜上所述，通過綜合考慮各種影響因素并采取相應的校準方法，可以顯著提高三坐標測量機的測量精度。